分析特点 微区分析电子探针分析区域可以是几个立方微米,能将微区化学成分与显微结构对应起来进行点分析(用于选定点的全谱定性分析或其中所含元素的定量分析),线分析(用于显示元素沿选定直线方向上的含量变化)和面分析(用于观察元素在选定微区内含量分布); 元素分析范围广配置了能谱仪的电子探针分辨率高,峰背比高,定量分析准确,但样品表面要平整光滑以方便聚焦; 不损坏试样电子探针能同时利用扫描电子束得到二次电子或背散射电子的形貌图像...
电子探针是通过加速和聚焦的极窄的电子束为探针,激发试样中的某一微小区域,使其发出特征X射线,由仪器配备的四道波谱仪、一道能谱仪、一个阴极发光成像系统接收并测定该X射线的波长和强度,即可对该微区的元素作定量或定性分析。将其与电镜功能相结合,能有效的把显微组织和元素成分联系起来,成为目前研究亚微观结构和成分的有力工具。...
能谱仪的元素分析范围现在也和波谱相同,分析元素范围从铍(Be)——铀(U)。 3. 定量分析准确度高 电子探针是目前微区元素定量分析最准确的仪器。...
电子探针显微分析是一种在材料表面几微米范围内的微区分析方法,它是一种显微结构的分析,能将微区化学成分与显微结构结合起来。采用该方法分析元素范围广泛、定量准确且不损坏试样。来自德国联邦材料研究与审核机构(BAM)的Vasile-Dan Hodoroaba博士介绍了ESMA 法在材料表面分析方面的应用情况。...
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