GB/T 29190-2012
扫描探针显微镜漂移速率测量方法
Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
GBT29190-2012, GB29190-2012
- 标准号
- GB/T 29190-2012
- 别名
- GBT29190-2012, GB29190-2012
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 29190-2012
- 引用标准
- GB/T 15000.3 ISO 18115 JJF 1001 JJF 1059
- 适用范围
- 本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格，及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基波方法。 本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
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