ISO 14644-8:2013
净化室和相关控制环境.第8部分:空气传播分子污染物(ACC)分类

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)


标准号
ISO 14644-8:2013
发布
2013年
中文版
GB/T 25915.8-2021 (等同采用的中文版本)
发布单位
国际标准化组织
替代标准
ISO 14644-8:2022
当前最新
ISO 14644-8:2022
 
 
引用标准
ISO 14644-6
适用范围
ISO 14644 的这一部分根据特定化学物质(个体、群体或类别)的空气浓度,建立了洁净室和相关受控环境中空气化学清洁度 (ACC) 的分类,并提供了包括测试方法、分析和时间的协议-分类规范内的加权因素。 ISO 14644 的这一部分目前仅考虑洁净室操作条件下空气化学污染物的浓度在 100 至 10−12 g/m3 之间。 ISO 14644 的这一部分与那些空气中化学物质的存在不被认为对产品或过程构成风险的行业、过程或生产中的应用无关。 ISO 14644 这一部分的目的不是描述空气化学污染物的性质。 ISO 14644 的这一部分没有给出表面化学污染的分类。

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