GB/T 7376-1987 工业用氟代甲烷类中微量水分的测定卡尔·费休法 GB/T 9722-2006 化学试剂气相色谱法通则 GB 14193-1993 液化气体气瓶充装规定 GB 15380-2001 小容积液化石油气钢瓶 SH/T 0232-1992 液化石油气铜片腐蚀试验 SH 0233-1992 液化石油气采样法 3 性状 无色、有挥发性醚味的气体或压缩液化气体。...
样品输送系统的滞后时间一般不宜超过60s。取样管管径一般为φ6×1mm,但最大取样管管径不应大于φ14×2mm。(6)取样管材质一般采用不锈钢,若试样中含有对不锈钢管腐蚀的组份时,可采用聚氯乙烯、聚四氟乙烯等其它合适的材质。对无腐蚀性的干试样也可采用无缝钢管。另外,试样引导管线应采取防堵措施。...
安全运送 离子注入、化学气相沉积 (CVD)、原子层沉积、外延 (EPI) 和其他半导体制造工艺中所用的很多特殊化学品和气体剧毒且易燃。虽然这些化学品和气体本身通常随时可供,但能否安全高效地将这些材料输送到机台也至关重要。 半导体产业有一系列推荐的安全标准。SEMI S2 这一重要的化学品输送标准就规定了特气柜或液体输送系统等设备的最低安全要求。...
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