GB/T 29504-2013
300mm 硅单晶
300 mm monocrystalline silicon
GBT29504-2013, GB29504-2013
- 标准号
- GB/T 29504-2013
- 别名
- GBT29504-2013
GB29504-2013 - 发布
- 2013年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 29504-2013
- 引用标准
- GB/T 11073-2007 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1551-2009 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 YS/T 679
- 本标准规定了直径300 mm、p型、〈100〉晶向、电阻率0.5 Ω·cm~20 Ω·cm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13 µm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。