GB/T 29504-2013
300mm 硅单晶

300 mm monocrystalline silicon

GBT29504-2013, GB29504-2013


说明:

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用;
  • 鼠标放置在图上可以看到标题编号;
  • 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小;
  • 表示标准的节点,可以拖动;
  • 绿色表示标准:GB/T 29504-2013 , 绿色、红色表示本平台存在此标准,您可以下载或者购买,灰色表示平台不存在此标准;
  • 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
GB/T 29504-2013

标准号
GB/T 29504-2013
别名
GBT29504-2013
GB29504-2013
发布
2013年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 29504-2013
 
 
引用标准
GB/T 11073-2007 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1551-2009 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 YS/T 679
本标准规定了直径300 mm、p型、〈100〉晶向、电阻率0.5 Ω·cm~20 Ω·cm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13 µm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。

GB/T 29504-2013相似标准


GB/T 29504-2013 中可能用到的仪器设备


谁引用了GB/T 29504-2013 更多引用





Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号