GB/T 29504-2013
300mm 硅单晶

300 mm monocrystalline silicon


标准号
GB/T 29504-2013
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 1550 GB/T 1551-2009 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 11073-2007 GB/T 14140 GB/T 14264 YS/T 679
适用范围
本标准规定了直径300 mm、p型、〈100〉晶向、电阻率0.5 Ω·cm~20 Ω·cm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13 µm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。

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