相关应用:硅片掺杂;金属层厚度测试;晶圆片电阻率测试Profilm 3D 白光干涉光学轮廓仪Profilm3D 使用最先进的垂直干涉扫描 (WLI) 与高精度的相位干涉 (PSI) 技术。以前所未有的价格实现次纳米级的表面形貌研究。...
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工艺—包装 使用Manz硅片检测设备对硅片进行测试、分选,测试出每片硅片的性能参数,根据性能分类。测试数据包括厚度、电阻率、少子寿命等。相同分类的硅片包装在一起。 硅片性能参数 1、型号(P型和N型,P型多晶硅是掺B,N型多晶硅是掺P) 2、电阻率 3、少数载流子寿命 4、硅片边长 5、对角线长度 6、倒角 7、厚度 8、总厚度变化...
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