GB/T 29508-2013
300mm 硅单晶切割片和磨削片
300 mm monocrystalline silicon as cut slices and grinded slices
GBT29508-2013, GB29508-2013
- 标准号
- GB/T 29508-2013
- 别名
- GBT29508-2013, GB29508-2013
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 29508-2013
- 引用标准
- GB/T 11073 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1551 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 26067 GB/T 2828.1 GB/T 29504 GB/T 29507 GB/T 6616 GB/T 6624 SEMI MF 1390 YS/T 26
- 代替标准
- ABNT NBR 14519-2011
- 适用范围
- 本标准规定了直径300 mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm的硅单晶切割片和磨削片(简称硅片)产品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直径300 mm直拉单晶经切割、磨削制备的圆形硅片,产品将进一步加工成抛光片,用于制作集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。
GB/T 29508-2013相似标准
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