IEC 62047-11:2013
半导体器件.微型机电装置.第11部分:微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
- 标准号
- IEC 62047-11:2013
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-11:2013
- 被代替标准
- IEC 47F/154/FDIS:2013
- 适用范围
- IEC 62047的本部分规定了测量长度在0@1mm到1mm之间的薄独立固体（金属@陶瓷@聚合物等）微机电系统（MEMS）材料的线性热膨胀系数（CLTE）的测试方法。 1 毫米，宽度在 10 ?? 之间和 1 毫米，厚度在 0@1 ?? 之间1mm@是MEMS@微机械等的主要结构材料。该测试方法适用于室温至材料熔化温度30%的温度范围内的CLTE测量。
IEC 62047-11:2013相似标准
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BS EN 62047-11:2013 半导体器件. 微型机电装置. 微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法
DIN EN 62047-11:2014 半导体器件. 微型机电装置. 第11部分:微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法 (IEC 62047-11-2013); 德文版本EN 62047-11-2013
GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语
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