GB/T 29731-2013
表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准
Surface chemical analysis.High-resolution Auger electron spectrometers.Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis
GBT29731-2013, GB29731-2013
- 标准号
- GB/T 29731-2013
- 别名
- GBT29731-2013, GB29731-2013
- 发布
- 2013年
- 采用标准
- ISO 17974:2002 MOD
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 29731-2013
- 引用标准
- GB/T 22461-2008 GB/T 27025-2008
- 适用范围
- 本标准规定了用于表面元素和化学态分析的俄歇电子能谱的动能标校准方法。并且还规定了校准日程安排,用于在中间某一能量值测试动能标线性、在高低动能区各取一点确认标尺校准的不确定度、校正标尺小漂移以及规定在95%置信度时该动能标校准的扩展不确定度(这个不确定度包括实验室之间研究中观察到的各种现象,但不涵盖所有可能的缺陷)。本标准仅适用于配备溅射清洁离子枪的仪器。不适用于以下情况的仪器:动能标尺的误差随能量明显非线性变化;工作于谱仪的相对分辨率低于0.2%的固定△E/E模式或固定△E为1.5 eV模式时,要求容差极限为±0.05 eV或更小。也不适用于电子枪不能在5 keV~10 keV能量范围操作的仪器。本标准不提供全标尺校准检验,该检验要对每一个在能量标尺上能设定的点加以验证,且应按仪器制造商的推荐程序进行。
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