BS EN 62047-11-2013
半导体器件. 微型机电装置. 微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

 

 

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标准号
BS EN 62047-11-2013
发布日期
2013年10月31日
实施日期
2013年10月31日
废止日期
无
中国标准分类号
L40
国际标准分类号
31.080.01;31.220.01
发布单位
英国标准学会

BS EN 62047-11-2013系列标准

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