GB/T 30453-2013
硅材料原生缺陷图谱

Metallographs collection for original defects of crystalline silicon

GBT30453-2013, GB30453-2013

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 GB/T 30453-2013 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

标准号

GB/T 30453-2013

别名

GBT30453-2013
GB30453-2013

发布

2013年

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 30453-2013

 

 

引用标准

GB/T 14264 GB/T 1554 GB/T 4058

本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料的各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷的术语及其形貌特征图谱。分析了其产生的原因和消除方法。本标准适用于硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料生产研究中各种缺陷的检验。硅器件、集成电路的生产研究也可参考本标准。

GB/T 30453-2013相似标准

谁引用了GB/T 30453-2013 更多引用