GB/T 30453-2013
硅材料原生缺陷图谱

Metallographs collection for original defects of crystalline silicon

说明：

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标准号
GB/T 30453-2013
发布日期
2013年12月31日
实施日期
2014年10月01日
废止日期
无
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 1554 GB/T 4058 GB/T 14264
适用范围
本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料的各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷的术语及其形貌特征图谱。分析了其产生的原因和消除方法。本标准适用于硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料生产研究中各种缺陷的检验。硅器件、集成电路的生产研究也可参考本标准。

GB/T 30453-2013系列标准

GB/T 30448-2013 纳米铁粉 GB/T 30449-2013 纳米二氧化锡 GB/T 30450-2013 纳米硫化镉 GB/T 30451-2013 有序介孔二氧化硅 GB/T 30452-2013 光催化纳米材料光解指数测试方法 GB/T 30457-2013 灯用稀土紫外发射荧光粉试验方法 GB/T 30456-2013 灯用稀土紫外发射荧光粉 GB/T 30455-2013 灯用稀土磷酸盐绿色荧光粉 GB/T 30454-2013 LED用稀土硅酸盐荧光粉试验方法

谁引用了GB/T 30453-2013 更多引用

YS/T 1167-2016 硅单晶腐蚀片


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