GB/T 30453-2013
硅材料原生缺陷图谱

Metallographs collection for original defects of crystalline silicon


 

 

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标准号
GB/T 30453-2013
发布日期
2013-12-31
实施日期
2014-10-01
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 1554 GB/T 4058 GB/T 14264
适用范围
本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料的各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷的术语及其形貌特征图谱。分析了其产生的原因和消除方法。本标准适用于硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料生产研究中各种缺陷的检验。硅器件、集成电路的生产研究也可参考本标准。

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