DIN EN 62047-11:2014
半导体器件. 微型机电装置. 第11部分:微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法 (IEC 62047-11-2013); 德文版本EN 62047-11-2013

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013); German version EN 62047-11:2013

 

 

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标准号
DIN EN 62047-11:2014
发布
2014年
发布单位
德国标准化学会
当前最新
DIN EN 62047-11:2014
 
 
引用标准
ASTM E228-11 ASTM E289-04 ASTM E831-06 IEC 62047-3-2006
被代替标准
DIN IEC 62047-11:2010

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