电子探针全称电子探针X 射线显微分析仪,又称微区X射线光谱分析仪,是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器,英文简称为EPMA。 可用来分析薄片中矿物微区的化学组成,分析对象是固体物质表面细小颗粒或微小区域,最小范围直径为1μm。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外,还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。 ...
目前,在分析电镜中的微束操作方式下能谱仪分析的最小微区已经达到毫微米的数量级,而波谱仪的空间分辨率仅处于微米数量级。 能量分辨本领 能谱仪的最佳能量分辨本领为149eV,波谱仪的能量分辨本领为0.5nm,相当于5-10eV,可见波谱仪的分辨本领比能谱仪高一个数量级。...
电子探针显微分析是一种在材料表面几微米范围内的微区分析方法,它是一种显微结构的分析,能将微区化学成分与显微结构结合起来。采用该方法分析元素范围广泛、定量准确且不损坏试样。来自德国联邦材料研究与审核机构(BAM)的Vasile-Dan Hodoroaba博士介绍了ESMA 法在材料表面分析方面的应用情况。...
微束分析-扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法适用于对扫描电镜中影响能谱定量分析性能的相关参数和能谱仪基本参数的测定,并以元素成分定量分析结果对仪器做出综合评价。 ...
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