Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11 : test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
La présente partie de la CEI 62047 définit la méthode d'essai pour mesurer les coefficients de dilatation thermique linéaire (CLTE) de matériaux de systèmes micro-électromécaniques (MEMS) solides autonomes minces (métalliques, céramiques, polymères, etc.) dont la longueur est comprise entre 0,1 mm et 1 mm, la largeur entre 10 pico m et 1 mm et l'épaisseur entre 0,1 pico m et 1mm, qui sont les matériaux structurels principaux utilisés pour les MEMS, les micromachines et autres. Cette méthode d'essai peut s'appliquer à la mesure des CLTE dans la gamme de températures allant de la température ambiante jusqu'à 30 % de la température de fusion du matériau.