GB/T 30868-2014
碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers.Chemically etching

GBT30868-2014, GB30868-2014


标准号
GB/T 30868-2014
别名
GBT30868-2014, GB30868-2014
发布
2014年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 30868-2014
 
 
引用标准
GB/T 14264
适用范围
本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。 本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。

GB/T 30868-2014 中可能用到的仪器设备





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