GB/T 31227-2014
原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
GBT31227-2014, GB31227-2014
- 标准号
- GB/T 31227-2014
- 别名
- GBT31227-2014, GB31227-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 31227-2014
- 引用标准
- GB/T 27760-2011
- 适用范围
- 本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
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