YS/T 985-2014
硅抛光回收片

Polished reclaimed silicon wafers

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标准号

YS/T 985-2014

发布日期

2014年10月14日

实施日期

2015年04月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H80

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-YS

引用标准

GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 GB/T 11073 GB/T 12962 GB/T 12964 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14144 GB/T 14264 GB/T 14844 GB/T 19921 GB/T 19922 GB

适用范围

本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm、125 mm、150 mm和200 mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片)经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外,使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。