DIN 50451-6:2014
半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第6部分: 测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution
- 标准号
- DIN 50451-6:2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 50451-6:2014-11
- 当前最新
- DIN 50451-6:2014-11
- 引用标准
- DIN 32645:2008 DIN 50451-5:2010 DIN EN ISO 14644-1:1997 DIN EN ISO 17294-2:2005 DIN EN ISO 8655-2:2002 DIN ISO 5725-2:2002 DIN ISO 5725-4:2003
- 被代替标准
- DIN 50451-6:2012