YS/T 954-2014
金砷蒸发料

Gold-arsenic alloy for evaporating

YST954-2014, YS954-2014

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标准号

YS/T 954-2014

别名

YST954-2014, YS954-2014

发布

2014年

发布单位

行业标准-有色金属

当前最新

YS/T 954-2014

 

 

引用标准

GB/T 11066.1 GB/T 15077 GB/T 25934.1

适用范围

本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)等内容。本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。

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