KS D 0259-2012
硅片的厚度、厚度变化和弯曲度的测定方法

Methods of measurement of thickness,thickness variation and bow for silicon wafer

被代替

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标准号

KS D 0259-2012

发布

2012年

发布单位

韩国科技标准局

替代标准

KS D 0259-2012(2017)

当前最新

KS D 0259-2012(2022)

 

 

被代替标准

KS D 0259-2007

适用范围

이 표준은 실리콘 단결정 웨이퍼(이하, 웨이퍼라 한다.)의 두께, 두께 변화 및 휨의 측정

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