KS D ISO 17973-2011
表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准

Surface chemical analysis－Medium-resolution Auger electron spectrometers－Calibration of energy scales for elemental analysis

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标准号

KS D ISO 17973-2011

发布日期

2011年12月30日

实施日期

2011年12月30日

废止日期

无

中国标准分类号

N51

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

KR-KATS

被代替标准

KS D ISO 17973-2006

适用范围

이 표준은 표면에서 원소 확인을 위한 일반적인 분석에 사용될 수 있도록 3 eV의 불확도로