掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 不是强制性中国国家标准,您可以免费下载预览页
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B、利用磁控直拉硅单晶工艺(MCZ)改进单晶硅棒产品质量 此工艺不仅能控制单晶中的氧浓度,也使硅单晶纵向、径向电阻率均匀性得到改善这种工艺已在国内部分拉棒公司开始试用。C、利用磁控直拉硅单晶工艺(MCZ)改进单晶硅棒产品质量 区熔单晶硅工艺避免了直拉工艺中大量氧进人硅晶体的固有缺陷,从而彻底解决了P型(掺硼)太阳电池的早期光致衰减现象。...
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