GB/T 31351-2014
碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
GBT31351-2014, GB31351-2014
- 标准号
- GB/T 31351-2014
- 别名
- GBT31351-2014, GB31351-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 31351-2014
- 适用范围
- 本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。