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02XL-80激光干涉仪测量机器主轴转速K1、直线运动速度K2等XL-80激光干涉仪是机床行业标准的定位精度检测系统,该激光干涉仪基本线性测量系统如果配套使用一套选购的聚焦镜及标准球(见图1),就可以测量机床主轴的径向跳动,并可以根据对测试的数据进行FFT分析,得到主轴的转动速度。图1某机床的主轴以3600转/分旋转,测试主轴跳动的曲线见图2。...
高性能机床主轴是指在满足加工精度和加工效率的前提下,速度、精度、刚度、功率、转矩匹配特性好,可靠性高,性能价格比高的机床主轴。 液体(动)静压主轴以液态“油膜”作为支撑,具有显着的“误差均化效应”和阻尼减振性,回转精度远高于滚动轴承式主轴,其刚度高,磨损小,寿命长,在精密超精密机床上获得了广泛应用,其主要技术难点在于控制高速时主轴的温升和热变形。 ...
3设置测量镜组将旋转镜与角度干涉镜组合在一体,有条件尽量将准直辅助镜增加在两者之间方便后续调整。4准直测量光束光束通过旋转镜(或和准直辅助镜)到达角度干涉镜后分成两束平行光,此时需要通过调整将光束与X轴平行。建议初期使用安装杆等标记物粗调,使光束在机床运动中都在标记物上同一位置,表明光束误差较小。...
液体(动)静压主轴以液态“油膜”作为支撑,具有显着的“误差均化效应”和阻尼减振性,回转精度远高于滚动轴承式主轴,其刚度高,磨损小,寿命长,在精密超精密机床上获得了广泛应用,其主要技术难点在于控制高速时主轴的温升和热变形。...
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