SJ/T 11491-2015
短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

Test methods for measurement of interstitial oxygen content in silicon by short baseline infrared absorption spectrometry

SJT11491-2015, SJ11491-2015


标准号
SJ/T 11491-2015
别名
SJT11491-2015, SJ11491-2015
发布
2015年
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 11491-2015
 
 
适用范围
本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。本标准适用于在室温下用短基线红外吸收法,测量低电阻率的n型硅单晶和p型硅单晶中间隙氧含量。测量氧含量的有效范围从1×1016 at · cm-3至硅单晶中间隙氧的最大固溶度的测试。

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