SJ/T 11503-2015
碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
Test methods for measuring surface roughness of polished monocrystalline silicon carbide wafers
SJT11503-2015, SJ11503-2015
- 标准号
- SJ/T 11503-2015
- 别名
- SJT11503-2015, SJ11503-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11503-2015
- 适用范围
- 本标准规定了测试碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的方法,包括表面轮廓仪法和原子力显微镜法。本标准适用于碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试。其中,原子力显微镜法仅适用于经过化学机械抛光或光学抛光且表面粗糙度的起伏在零点几纳米至几微米范围内的碳化硅单晶抛光片。
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