ASTM F50-12(2015)
使用能够检测单亚微米和更大颗粒的仪器对粉尘控制区和洁净室内气载粒子进行定径和计数的标准实施规程
Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instruments Capable of Detecting Single Sub-Micrometre and Larger Particles
- 标准号
- ASTM F50-12(2015)
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F50-21
- 当前最新
- ASTM F50-21
- 引用标准
- ASTM D1356 ASTM F328 ASTM F649 ASTM F658 ISO 14644-1 ISO 14644-2
- 适用范围
- 1.1 本实践涵盖了粉尘控制区域和洁净室中空气中颗粒浓度（按数量）和尺寸分布的测定，颗粒尺寸范围约为 0.01 至 5.0 µm 。颗粒浓度不超过 3.58201;×8201;106 颗粒/m 3 (1008201;000/ft3) 的所有颗粒均涵盖等于和大于测量的最小尺寸。
1.2 这种做法使用机载单颗粒计数装置（SPC），其操作基于测量通过传感区域的单个颗粒产生的信号。信号必须与颗粒尺寸直接或间接相关。注 1：此处未指定 SPC 类型。 SPC 可以是传统的光学粒子计数器 (OPC)、空气动力学粒子测定器、与扩散电池或微分迁移率分析仪结合运行的凝聚核计数器 (CNC)，或任何其他能够对粒子中的单个粒子进行计数和大小测定的设备。关注的尺寸范围和洁净室环境中的采样。