GB/T 32188-2015
氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
GBT32188-2015, GB32188-2015
说明：
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- 标准号
- GB/T 32188-2015
- 别名
- GBT32188-2015
GB32188-2015 - 发布
- 2015年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 32188-2015
- 引用标准
- GB/T 14264
- 本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。