GB/T 32188-2015
氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate


标准号
GB/T 32188-2015
发布日期
2015年12月10日
实施日期
2016年11月01日
废止日期
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
发布单位
国家质检总局
适用范围
本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。

GB/T 32188-2015系列标准


GB/T 32188-2015 中可能用到的仪器设备





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