GB/T 32277-2015
硅的仪器中子活化分析测试方法
Instrumental neutron activation analysis test method for silicon
GBT32277-2015, GB32277-2015
- 标准号
- GB/T 32277-2015
- 别名
- GBT32277-2015, GB32277-2015
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 32277-2015
- 引用标准
- GB 18871 GB/T 14264 GB/T 620 GB/T 626 GJB 2253 ISO 11929:2010
- 适用范围
- 1.1 本标准规定了硅材料的仪器中子活化分析测试方法。 1.2 ”本标准适用于化学气相沉积法或冶金提纯方法生产的硅材料的仪器中子活化分析。 分析样品可以是单唱硅、多晶硅,而多晶硅的形态可以是粉末、颗粒、块状或硅片。 1.3 ”本标准适用于材料的宏观成分分析。 如按本测试方法进行额外的样品制备,并在样品抽取、传送和制备过程中避免表面污染,也可实现样品的表面或近表面区域分析。 1.4 本测试方法仅适用于附录A中所列痕量元素的热中子或超热中子活化分析。 1.5 本测试方法不适用于非晶硅薄膜.多晶硅薄膜或微晶硅薄膜的分析。 对于受到人为挫杂高浓度特殊元素的硅样品,也不属于本测试方法适用范围,但在检查过挫杂对安全,检测限和最小等待时间tw的影响之后,该测试方法还是可能适用。 1.6 本测试方法用于分析大范围的痕量元素(见附录A)。 通常,样品的辐照时间应比”Si 的训变寿命长,而且应等重照生成的”Si 充分地衰变之后才能实施分析。