SJ/T 11494-2015
硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法
Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
SJT11494-2015, SJ11494-2015
- 标准号
- SJ/T 11494-2015
- 别名
- SJT11494-2015, SJ11494-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11494-2015
- 引用标准
- GB/T 13389 GB/T 24581
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法。本标准适用于低位错密度(< 500个/cm2)硅单晶中导电性杂质硼、磷含量的测定,同时也适用于检测硅单晶中含量为1×1011 at • cm-3~5×1015 at·cm-3的各种电活性杂质。
SJ/T 11494-2015相似标准
推荐
SJ/T 11494-2015 中可能用到的仪器设备
近红外光谱仪
原子吸收光谱仪（AAS）
分子荧光光谱/荧光分光光度计
激光诱导击穿光谱LIBS
X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪）
红外光谱仪
旋光仪
光学仪器组件
X荧光光谱/XRF（波长色散型）
光谱部件及外设
其它光谱仪
高光谱仪/高光谱成像仪
光纤光谱仪
MALDI质谱
其它光学测量仪
太赫兹光谱仪
辉光放电光谱仪
激光器
电化学发光仪
光源/氙灯光源/汞灯光源
光学调整架
电镜附件及外设
紫外可见分光光度计
圆二色光谱
其他试验机
热传导性能测定仪
比表面积仪/动态法
压汞仪
低温恒温器
金属浴/恒温金属浴/干式恒温器
纯水器/超纯水器/纯水机/超纯水机
其它在线仪器仪表
磷硅酸根监测
VOC检测仪/TVOC监测仪
食品安全快速检测仪
量子效率测试系统
光学性能测定仪
化学/化工
红外测温仪