YS/T 23-2016
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

Test method for thickness of epitaxial layers.Stacking fault size


 

 

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标准号
YS/T 23-2016
发布日期
2016-04-05
实施日期
2016-09-01
废止日期
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
发布单位
CN-YS
引用标准
GB/T 14264 GB/T 14847
被代替标准
YS/T 23-1992
适用范围
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。 本标准适用于在〈111〉、〈100〉和〈110〉晶向的硅单晶衬底上生长的2 μm~120 μm硅外延层厚度的测量。




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