YS/T 23-2016
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

Test method for thickness of epitaxial layers.Stacking fault size

YST23-2016, YS23-2016


 

 

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标准号
YS/T 23-2016
别名
YST23-2016, YS23-2016
发布
2016年
发布单位
行业标准-有色金属
当前最新
YS/T 23-2016
 
 
引用标准
GB/T 14264 GB/T 14847
被代替标准
YS/T 23-1992
适用范围
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。 本标准适用于在〈111〉、〈100〉和〈110〉晶向的硅单晶衬底上生长的2 μm~120 μm硅外延层厚度的测量。

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