GB/T 13387-1992
电子材料晶片参考面长度测量方法

Test method for measuring flat length on slices of electronic materials

GBT13387-1992, GB13387-1992

2010-06

标准号
GB/T 13387-1992
别名
GBT13387-1992, GB13387-1992
发布
1992年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 13387-2009
当前最新
GB/T 13387-2009
 
 
适用范围
本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。 本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。

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