GB/T 13389-1992
掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
GBT13389-1992, GB13389-1992
2015-09
- 标准号
- GB/T 13389-1992
- 别名
- GBT13389-1992
GB13389-1992 - 发布
- 1992年
- 采用标准
- ASTM F723 EQV
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 13389-2014
- 当前最新
- GB/T 13389-2014
- 本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。 本标准适用于掺杂剂浓度1012～1021cm-3（电阻率0.0001～10，000Ω·cm）掺硼硅单晶和1012～5×1020cm-3（电阻率0....