GB/T 13389-1992
掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon


 

 

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标准号
GB/T 13389-1992
发布日期
1992-02-19
实施日期
1992-10-01
废止日期
2015-09-01
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
29.040.30
发布单位
CN-GB
代替标准
GB/T 13389-2014
适用范围
本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。 本标准适用于掺杂剂浓度1012~1021cm-3(电阻率0.0001~10,000Ω·cm)掺硼硅单晶和1012~5×1020cm-3(电阻率0.0002~4,000Ω·cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算,也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

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