GB/T 14139-1993
硅外延片
Silicon epitaxial wafers
- 标准号
- GB/T 14139-1993
- 发布日期
- 1993年02月06日
- 实施日期
- 1993年10月01日
- 废止日期
- 2010-06-01
- 中国标准分类号
- H26
- 国际标准分类号
- 29.040.30
- 发布单位
- CN-GB
- 代替标准
- GB/T 14139-2009
- 适用范围
- 本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层（N/N＋）和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层（P/P＋）的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。