GB/T 14143-1993
300-900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
Infrared Absorption Measurement Method of Oxygen Content in the Gap of 300-900μm Silicon Wafer
GBT14143-1993, GB14143-1993
2006-11
- 标准号
- GB/T 14143-1993
- 别名
- GBT14143-1993, GB14143-1993
- 发布
- 1993年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 1557-2006
- 当前最新
- GB/T 1557-2018
- 适用范围
- 本标准规定了用红外吸收法测定厚度为300～900μm的硅片间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅片间隙氧含量的测量。测量范围为3×1016atcm-3至间隙氧在硅中的最大固溶度。
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