GB/T 14145-1993
硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法

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标准号

GB/T 14145-1993

发布日期

1993年02月06日

实施日期

1993年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H24

国际标准分类号

29.040.30

发布单位

CN-GB

适用范围

本标准规定了使用干涉相衬显微镜非破坏性测量硅外延层堆垛层错密度的方法。 本标准适用于硅外延层厚度不小于3μm、外延层晶向偏离｛111｝晶面或｛100｝晶面角度较小的试样的堆垛层错密度测量。当堆垛层错密度超过15000cm^-2或当外延层晶向与｛111｝晶面或｛100｝晶面偏离角度较大时，测量精度将有所降低。

GB/T 14145-1993系列标准

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