GB/T 14145-1993
硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法

Determination of Stacking Fault Density of Silicon Epitaxial Layer by Interference Phase Contrast Microscopy

GBT14145-1993, GB14145-1993


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标准号
GB/T 14145-1993
别名
GBT14145-1993
GB14145-1993
发布
1993年
采用标准
ASTM F522-84 REF
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 14145-1993
 
 
本标准规定了使用干涉相衬显微镜非破坏性测量硅外延层堆垛层错密度的方法。 本标准适用于硅外延层厚度不小于3μm、外延层晶向偏离｛111｝晶面或｛100｝晶面角度较小的试样的堆垛层错密度测量。当堆垛层错密度超过15000cm-2或当外延层晶向与｛111｝晶面或｛100｝晶面偏离角度较大时，测量精度将有所降低。

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