GB/T 14146-1993
硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法

Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method


GB/T 14146-1993




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标准号
GB/T 14146-1993
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
废止日期
2010-06-01
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
29.040.30
发布单位
CN-GB
代替标准
GB/T 14146-2009
适用范围
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容-电压测量方法。 本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。测量范围为1013~1018cm-3

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