GB/T 14146-1993
硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法

Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method


说明:

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用;
  • 鼠标放置在图上可以看到标题编号;
  • 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小;
  • 表示标准的节点,可以拖动;
  • 绿色表示标准:GB/T 14146-1993 , 绿色、红色表示本平台存在此标准,您可以下载或者购买,灰色表示平台不存在此标准;
  • 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。

GB/T 14146-1993



标准号
GB/T 14146-1993
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
废止日期
2010-06-01
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
29.040.30
发布单位
CN-GB
代替标准
GB/T 14146-2009
适用范围
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容-电压测量方法。 本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。测量范围为1013~1018cm-3

谁引用了GB/T 14146-1993 更多引用





Copyright ©2007-2016 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号