GB/T 13388-1992
硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal sillcon slices and wafers by X-ray techniques
GBT13388-1992, GB13388-1992
2010-06
- 标准号
- GB/T 13388-1992
- 别名
- GBT13388-1992, GB13388-1992
- 发布
- 1992年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 13388-2009
- 当前最新
- GB/T 13388-2009
- 适用范围
- 本标准规定了用X射线技术测量硅片参考面结晶学取向的方法。 本标准适用于硅片参考面结晶学取向与参考面规定取向之间角度偏差的测量。硅片直径为50～125mm，参考面长度为10～50mm。 本标准不适用于硅片规定取向在与参考面和硅片表面相垂直的平面内的投影与硅片表面法线之间夹角不小于3°的硅片的测量。
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