GB/T 14847-1993
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

Test method for thickness of lightly doped silicon eqitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance

GBT14847-1993, GB14847-1993

2011-10

GB/T 14847-1993


标准号
GB/T 14847-1993
别名
GBT14847-1993
GB14847-1993
发布
1993年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 14847-2010
当前最新
GB/T 14847-2010
 
 
本标准规定了重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。 本标准适用于衬底室温电阻率小于0.02Ω·cm和外延层室温电阻率大于0.1Ω·cm且外延层厚度大于2μm的硅外延层厚度的测量。

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