GB/T 32188-2015
氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate

GBT32188-2015, GB32188-2015


标准号
GB/T 32188-2015
别名
GBT32188-2015, GB32188-2015
发布
2015年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 32188-2015
 
 
引用标准
GB/T 14264
适用范围
本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。

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