ISO 14644-2:2015
洁净室和相关控制环境. 第2部分: 用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- 标准号
- ISO 14644-2:2015
- 发布
- 2015年
- 中文版
- GB/T 25915.2-2021 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14644-2:2015
- 引用标准
- ISO 14644-12 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3:2005 ISO 14644-4:2001 ISO 21501-4:2007 ISO 31000:2009
ISO 14644-2:2015相似标准
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DIN EN ISO 14644-2 E:2010-12 洁净室和相关控制环境 第2部分：用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据（草案）
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