EN ISO 14644-2:2015
洁净室和相关控制环境.第2部分:用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration

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标准号

EN ISO 14644-2:2015

发布

2015年

发布单位

欧洲标准化委员会

当前最新

EN ISO 14644-2:2015

 

 

引用标准

ISO 14644-12 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3:2005 ISO 14644-4:2001 ISO 21501-4:2007 ISO 31000:2009

被代替标准

FprEN ISO 14644-2:2015

适用范围

Dieser Teil von ISO 14644 legt die Mindestanforderungen an einen Überwachungsplan für die Leistung eines Reinraums oder eines reinen Bereichs in Bezug auf die Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration auf der Grundlage von Parametern fest, die die Konzentration luftgetragener Partikel messen oder beeinflussen. Dieser Teil von ISO 14644 behandelt nicht die Zustandsüberwachung von Aspekten, wie z. B. Vibration oder die allgemeine Instandhaltung der Engineeringsysteme. Er ist nicht für die Überwachung von Partikelgruppen vorgesehen, die außerhalb des festgelegten unteren Schwellenwerts (Nachweisgrenze) der Partikelgröße im Bereich zwischen 0,1 µm und 5 µm liegen. Konzentrationen von ultrafeinen Partikeln (Partikel kleiner als 0,1 µm) werden in einem anderen Teil dieser Normenreihe behandelt.

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